[아시아경제 정현진 기자] 반도체 첨단공정에 필수적인 극자외선(EUV) 노광장비를 만드는 반도체 업계의 '슈퍼을' 네덜란드 ASML이 지난해 42대의 EUV 장비를 공급했다고 밝혔다. 최근 독일 베를린 공장에서 화재가 났지만 여파는 크지 않으며 삼성전자, SK하이닉스와 같은 국내 업체는 물론 TSMC, 인텔 등 글로벌 반도체 업체가 앞다퉈 EUV 확보 경쟁을 벌이면서 올해 ASML의 매출은 전년대비 20% 성장할 것으로 전망했다.

ASML은 19일(현지시간) 2021년 실적 발표를 통해 연간 매출액이 186억유로, 당기순이익은 59억유로를 기록했다고 밝혔다. 연간 매출에는 EUV 장비 매출인 63억유로가 포함됐다. 연간 기준으로 판매대수는 2020년 31대에서 11대 증가한 42대였으며 분기별로는 1분기 7대, 2분기 9대, 3분기 15대, 4분기 11대 판매했다.

피터 베닝크 ASML 최고경영자(CEO)는 "최종시장의 높은 수요가 우리 고객사에게 더 높은 웨이퍼 출력을 요구하고 있으며 이로 인해 ASML의 생산능력보다 높은 수요가 있는 상황"이라면서 "올해 매출은 총 6대의 EUV 장비가 조기출하로 인해 내년 매출로 기록될 것을 감안해도 지난해 대비 약 20% 정도 증가할 것으로 예상한다"고 말했다.

ASML은 수요에 맞추기 위해 기존 시스템의 생산성을 높이는 업그레이드 솔루션을 개발하고 더 많은 시스템을 생산하기 위한 추가 작업도 진행 중이라고 밝혔다. 출하 전 공장 테스트 (FAT) 단계를 없애고 고객사에서 최종 테스트를 하도록 하는 작업도 진행 중이다.

ASML은 이번 실적 발표에서 최근 발생한 독일 베를린 공장 화재와 관련해 "올해 매출에 큰 영향은 없을 것으로 판단된다"고 밝혔다. 지난 9일 생산과 서비스에 미칠 영향을 최소화하겠다면서 추후 입장을 다시 내놓겠다고 했는데 공급에는 별다른 지장이 없다는 것으로 풀이된다.

한편, ASML은 고객사인 인텔과 협업을 최근 강화하기로 했다고 밝혔다. 인텔은 ASML이 제공하는 High-NA(개구수) EUV 양산 장비를 업체 최초로 주문했다. 이 장비는 시간당 200개 이상의 웨이퍼 생산성을 제공하는 EUV 양산 시스템을 기반으로 하고 있다. 마틴 반 덴 브링크 ASML 최고기술책임자(CTO)는 "High NA 시스템 기반 EUV를 통해 ASML은 복잡성을 줄이고 비용, 장비 생산 시간, 에너지 사용 개선을 진행 중"이라고 설명했다.